日本電子株式会社

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新型走査電子顕微鏡JSM-IT700HRを販売開始　 ― 毎日つかうSEM。だから、使いやすく。―

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2020年8月3日 23:00

日本電子株式会社

日本電子株式会社(代表取締役社長兼COO 大井泉、証券コード：6951)は、この度、ハイスループットを追求した、新型走査電子顕微鏡JSM-IT700HRを開発し、2020年8月より販売を開始しました。

※写真はJSM-IT700HR/LA

製品URL： https://www.jeol.co.jp/products/detail/JSM-IT700HR.html

《開発の背景》

走査電子顕微鏡(SEM)はナノテクノロジー、金属、半導体、セラミックスや医学・生物学の分野など、様々な分野で活用され、益々その用途を広げています。また、使用される目的も基礎研究から製造現場、品質管理まで幅広くなっています。それに応じて、電子顕微鏡をリサーチ目的だけでなく、さらに早く高画質データを取得したい、分析を意識しないで、より簡単に組成情報を確認したいという需要が高まっています。

さらに技術革新とともに観察対象は日々小さくなってきています。微細化していく試料を日常的に測定しなければならないという声から、ご好評を頂いている当社InTouchScope(TM)シリーズにインレンズショットキー電界放出電子銃を搭載し、JSM-IT700HRは誕生しました。

最高分解能1nm、最大照射電流300nA(従来機15倍)を発揮する電子銃は観察・分析に余裕を感じさせてくれます。さらに、シンプルな操作にこだわったユーザーインターフェイスとコンパクト設計でありながらも大きな試料室も装備、従来機から一新された架台による耐振性の向上も＜「見える」よりも「楽に見える」。＞を実現しました。

「使いやすく。」の向上のため、新たに「信号深さ表示機能」を追加、SEMのGUIに組み込まれ、測定している試料の分析深さ(目安)を即座に知ることができます。元素分析の際に有効です。

低真空観察機能を装備したJSM-IT700HR/LV、低真空観察機能およびEDSを標準装備したJSM-IT700HR/LAの2モデルからご選択いただけます。

《主な特長》

1. インレンズショットキー電界放出電子銃より高画質観察と高空間分解能分析が可能

2. ホルダーグラフィック画像、CCD画像とSEM像が連動するZeromag機能により素早く快適な視野探しが可能

3. 観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能

4. 新たな信号深さ表示機能により試料の分析深さ(目安)を即座にサポート

5. 取得データを一元管理できるSMILE VIEW(TM) Labにより、観察から分析まで全データのレポート作成が容易

6. 試料交換ナビにより安全で簡単に試料交換が可能

7. 電子銃のオートビームアライメントにより、常に最適な状態を維持

8. ドローアウト方式の大形試料室により、様々な形状や大きさの試料の観察・分析に対応

《本体標準価格》