半導体製造工程等に使用する「高温ガスチューブヒーター」を 2024年4月頃販売予定　「SEMICON Japan 2023」で展示

2023.11.20 13:00

株式会社マイセック(本社：愛知県名古屋市、代表取締役社長：間宮康博)は半導体製造工程等に使用する、高温ガスチューブヒーターを開発、2024年4月頃からの販売開始を予定しています。

高温ガスチューブヒーター(写真1)

従来の高温ガス移送の工程では製造プロセスの配管に各種ヒーターを後付けすることが主流でしたが、今回開発した高温ガスチューブヒーターはフレキシブル配管に新開発した最高使用温度300℃の被覆付きヒーターを直接編み込むことにより配管への熱伝導性を高め、配管内の温度ムラを低減させる事に成功しました。これによりチューブ配管内の固化を防ぎ、製造現場での歩留まり率の低減が期待されています。

ヒーターを配管に直接編み込むことに加え、特殊な断熱材を使用することにより従来の後付けヒーターより、仕上がり外径を細くすることに成功し省スペース化を実現しています。また製品表面温度を95℃以下に抑えることで他設備への熱影響の低減に貢献します。

開発した高温ガスチューブヒーターは電源電圧を100V仕様にすることによって製造ラインのみならず、ラボ内での実験といった工場以外での使用も可能となります。

本製品は12月13日(水)～15日(金)に東京ビッグサイトにて開催されるSEMICON Japan 2023に出展、展示します。

■製品仕様

電圧　　　　　　：100[V］

電力　　　　　　：250[W]

最高使用温度　　：300[℃]

寸法　　　　　　：1.56m

販売価格　　　　：オープン価格

実用新案登録番号：3209680

■イベント概要

イベント名： SEMICON Japan 2023