半導体やアルミなどの製造プロセス効率化に貢献する放射温度計の...

半導体やアルミなどの製造プロセス効率化に貢献する 放射温度計の新製品「IT-270」を発売  ~3つの「C」(Core Technology/Customize/Compact)で 新たな価値を提供~  【 IIFES 2022 出展製品 】

株式会社堀場製作所(本社:京都市南区吉祥院宮の東町2、代表取締役社長:足立 正之、以下 当社)は、新製品「IT-270」を2022年1月26日より販売開始します。

測定対象物に触れることなく高精度な温度測定を行う放射温度計「IT」シリーズは、1986年の発売以降35年以上にわたって、生産・品質管理・研究開発など様々な現場で活用されています。

今回発売する「IT-270」は、これまで培ってきた業界トップクラス※1の計測精度を維持しながら、基幹部品の開発・生産及び製品の校正まで一貫して自社内で行うコア技術を最大限に活用し、新たに開発した計測手法による測定対象物の拡大、3分割したコンポーネントで構成した高いカスタマイズ性、従来比で2分の1※2の設置面積に小型化したコンパクトなつくりを実現。3つの「C」を徹底的に追求し、半導体やアルミを始めとした幅広い産業における製造プロセスの効率改善に貢献します。なお本製品は、2022年1月26日から28日に東京ビッグサイトで開催される「IIFES 2022」に出展します。当社展示ブースでは、本製品を用いたデモンストレーションも行う予定です。


「IT-270」製品サイト:

https://www.horiba.com/jp/process-environmental/products-jp/thermometry/details/it-270-47389/



【開発の背景】

「IT」シリーズは、センサーを用いて測定対象物が放出する赤外線から温度を測定する製品です。非接触で/離れた場所の/移動物の温度測定を可能とする高い汎用性を備えており、多種多様な産業において研究開発から品質管理、生産と幅広い現場で活躍しています。

近年様々な技術革新が進む半導体産業では、製造プロセスのさらなる効率化に向けエッチングや洗浄などの各工程において、より厳密な温度管理を行うことが求められています。こうした背景から、高い計測性能を保ちながら、市場の改善ニーズに応える新製品「IT-270」を発売します。本製品投入により、当社が中長期経営計画「MLMAP 2023※3」で注力する3つのフィールド※4のうち、特に「素材/半導体」分野でのビジネス拡大をめざします。


「IT-270」


※1 当社調べ(2022年1月時点)

※2 当社従来製品との比較

※3 MLMAP(Mid-Long Term Management Plan):当社では中長期経営計画を「MLMAP」として社内浸透させています。

※4 「MLMAP2023」では、メガトレンドをリードする「エネルギー/環境」「バイオ/ヘルスケア」「素材/半導体」の3つのフィールドに注力することを掲げています。



【製品の特長~3つの「C」で新たな価値を提供~】

■1. Core Technology:自社開発・生産の高次元な技術と独創的なアイデアで製品力を大幅向上

・光学フィルターやサーモパイルセンサーなど、性能を左右する基幹部品の開発・生産から自社開発の精密黒体炉※5を用いた厳密な温度校正に至るまで、一貫して自社内で対応。全てが自社の独自技術である強みを活かし、柔軟なカスタマイズ性やコンパクト化を実現

・高度な自社技術に独創的なアイデアを掛け合わせ、2台の放射温度計を用いて行う「差分方式」の計測手法を開発。これまで困難であったアルミなど反射率の高い金属の計測を実現


■2. Customize:複雑化する要求仕様に柔軟に対応

・レンズ/センサー/入出力と3分割したコンポーネントで構成。様々な産業における製造プロセスにより異なる、細かな仕様に柔軟に対応する高いカスタマイズ性を実現

・お客様から要求される仕様に対応するリードタイムを従来比で約3分の1に低減※6


■3. Compact:小型化と堅牢性を両立

・内部構造の最適化により、従来比で2分の1※7の設置面積を実現。製造ラインの装置に組み込む際のフレキシブルなレイアウト設計に貢献

・急激な温度変化により受ける影響を従来比で2分の1※7に低減。小型かつ堅牢なつくりを両立



【差分方式による計測の活用例:反射率の高い金属】(IIFES 2022でデモンストレーション予定)

金属産業におけるアルミなどの温度管理は、生産性や品質の向上に寄与する重要な要素となっています。表面の反射率が高い金属は、近くにある他の物体からの赤外線も反射してしまうことから、特に低温領域における正確な温度測定が困難とされています。2つの異なる角度で測定したデータから差分方式による演算を行うことにより、金属の温度を高精度に測定することができます。


差分方式による計測の活用例


※5 全ての波長を吸収する「黒体」を模した炉の中で放射温度計の校正を行う装置

※6 当社従来製品との比較。仕様によって異なる場合があります。

※7 当社従来製品との比較

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