アルゴヴィジョンテクノロジズ、革新的「流体研磨技術」で 半導体製造装置部品の精密仕上げを実現

革新的な精密研磨技術で業界をリードするアルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社(本社：京都府、代表取締役：立花 昇一)は、半導体製造装置の部品加工に新たな価値を提供する画期的な流体研磨装置技術を発表いたします。この技術は、流体力学と革新的な設計が融合したもので、これまでの研磨技術を大きく進化させます。

「アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社」詳細： https://algovision.co.jp/

■半導体製造装置の心臓部を支える「研磨技術」

スマートフォンやパソコン、EV、自動運転技術まで──私たちの生活を支える半導体は、ナノメートル単位の精密な加工と高い信頼性が求められています。その半導体を製造する装置自体も、極めて高い精度とクリーン度を持つ部品によって構成されています。

しかし、装置に使われる金属部品やセラミック部品は、製造過程で必ず「表面の凹凸」や「微細な傷」「バリ」と呼ばれる加工残りが生じます。これらの微細な欠陥は、半導体製造の歩留まり低下や装置寿命の短縮につながりかねません。だからこそ、部品の最終工程として「研磨」が欠かせないのです。

■研磨が必要な理由をわかりやすく

・異物の発生を防ぐため

装置内部のわずかな凹凸やバリは、使用中に微細な異物を発生させます。半導体製造では、この異物が基板に付着すると不良品が発生してしまいます。

・表面を滑らかにして耐久性を向上

粗い表面は摩耗や腐食の原因になります。研磨で平滑化することで、部品の寿命が大幅に伸びます。

・ナノレベルの精度確保

半導体製造装置では、ガスや液体の流路、真空チャンバーなどに極めて精密な表面処理が求められます。研磨によってナノレベルで均一な表面が実現できます。

■アルゴヴィジョンテクノロジズの「流体研磨」技術とは

アルゴヴィジョンテクノロジズが提供するのは、独自の流体研磨装置技術。これは、微細な研磨材と水を混ぜた流体を高速で部品内面に流し、ナノレベルで凹凸をならす技術です。

従来の機械的な研磨では難しかった複雑な形状や内部流路でも、流体が隅々まで行き渡ることで均一な研磨が可能になります。

・均一性の高さ：形状を問わず均一な表面仕上げ

・微細形状対応：人の手や通常の研磨機では不可能な内部まで対応

・高い再現性　：量産部品でも安定した品質を保証

細穴流路研磨サンプル(研磨前)

細穴流路研磨サンプル(研磨後)

■受託研磨サービスも提供

「自社の部品を試しに磨いてみたい」

「今ある装置をもっと長持ちさせたい」

そんな声に応えるため、アルゴヴィジョンテクノロジズは装置販売だけでなく受託研磨サービスも行っています。お客様は装置を購入しなくても、まずは部品を預けて成果を体感することができます。

■今後の展望

半導体産業は今後も世界的に成長が見込まれており、装置部品に求められる精度と信頼性は一層高まります。

アルゴヴィジョンテクノロジズは、流体研磨という“一見地味だけれど絶対に欠かせない技術”を武器に、世界のテクノロジーを陰で支え続けます。

■技術概要

技術名　：流体研磨

対応内径：φ0.1～φ5.0

対応長さ：～2000mm

対応材質：ステンレス系(303、304、316、316L、SUS420J2、etc)

　　　　　チタン系(純Ti、Ni-Ti、64Ti、etc)

　　　　　アルミ系(ALSi10Mg、ジュラルミン、etc)

　　　　　コバルト合金系(エルジロイ、Mp35N、etc)

　　　　　ニッケル合金系(インコネル718、ハステロイX、etc)

　　　　　銅系(cu、etc)

　　　　　その他(S45C、SCM415、SKD61、マルエージング鋼、モリブデン、etc)

　　　　　＊記載にないサイズ・材質はお問い合わせください

■会社概要

商号　　： アルゴヴィジョンテクノロジズ株式会社

代表者　： 代表取締役　立花 昇一

所在地　： 〒634-0826　奈良県橿原市川西町800-1(奈良工場)

設立　　： 2007年1月

事業内容： 流体研磨技術の開発／受託研磨

資本金　： 100万円

URL　　 ： https://algovision.co.jp/