日本電子株式会社(代表取締役社長兼COO：大井 泉)は、新型原子分解能分析電子顕微鏡“GRAND ARM(TM)2”(JEM-ARM300F2)を開発し、2020年2月より販売を開始します。

JEM-ARM300F2

■開発の背景

近年の電子顕微鏡の開発は分解能向上を目指す道のりでした。日本電子はこの間、電子顕微鏡のあらゆる安定度向上に取り組んできました。また安定度に加え、収差補正技術の登場により一気に分解能の壁を破ることに成功しました。

GRAND ARM(TM)はまさしく超高分解能を目指すことに特化した装置でしたが、近年はハードマテリアルのみならずソフトマテリアルにおいて更なる分解能の向上と、分析精度の向上が求められていました。

当社ではこうした要求に応え、新型対物レンズポールピース“FHP2”を搭載したGRAND ARM(TM)2を開発しました。FHP2を搭載することにより、究極の原子分解能と最大級の立体角をもつ大口径EDSの両立を実現しました。

また、外部環境に左右されないエンクロージャーカバーを標準構成し更なる安定度向上を実現しました。

■主な特長

＜超高空間分解能を維持したまま、高感度X線分析を実現＞

新型対物レンズポールピース FHP2では、

(1) 従来のFHPと比べ、2倍以上のX線検出感度(1.4sr(ステラジアン))を実現しました。

(2) 低色収差＆低球面収差係数の光学定数により、高加速から低加速まで、さまざまな加速電圧で超高空間分解能と高感度X線分析が可能です。

(STEM保証分解能：53pm@300kV、96pm@80kV)*。

*STEM収差補正装置を搭載した場合

＜高感度のX線分析が可能な対物ポールピースWGPも搭載可能＞

上極と下極の隙間(ギャップ)が大きいWGPでは、

(1) 大面積SDDをさらに試料に近づけることができ、超高感度のX線分析が可能です(立体角2.2sr)。

(2) 厚い特殊試料ホルダーも挿入することができ、さまざまなその場観察等の実験を行うことができます。

＜本体とインテグレーションされた収差補正装置＞

JEOL製球面収差補正装置は、FHP2と組み合わせることで、STEM空間分解能53pm、WGPと組み合わせることで、STEM空間分解能59pmを実現しました(@300kV)。

また、JEOL製収差補正制御システムJEOL COSMO(TM)により、簡便かつ高速に収差補正が可能です。

＜冷陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)を標準装備＞

エネルギー幅の小さな高安定Cold-FEGを標準装備しました。

＜外部環境に左右されないエンクロージャーカバー採用＞

気流や室温変化、騒音といった外乱の影響を低減するエンクロージャーカバーを標準構成しました。

■主な仕様

＜保証分解能＞

HAADF-STEM像：0.053nm(ETAコレクタ搭載、FHP2ポールピース時)

電子銃　　　：冷陰極電界放出形電子銃

＜加速電圧＞

標準：300kVおよび80kV

＜エネルギー分散形X線分析装置＞

158mm2×2台

1.4sr(FHP2ポールピース時)

＜本体標準価格＞

￥500,000,000～

＜販売予定台数＞

10台